美国mks流量计GM50A系列流量控制器大量现货

美国mks流量计-GM50A流量控制器详细介绍

GM50A 和 GM51A 数字控制质量流量控制器可用于模拟或 RS485、Profibus™、EtherCAT®、PROFINET 或 DeviceNet™ I/O。数字控制电子设备利用Zui新的 MKS 控制算法，在整个设备控制范围内对设定点进行快速且可重复的响应。典型的响应时间约为 500 毫秒。数字校准在校准气体上产生 1% 的设定点精度。

1、流速从 5 到 50,000 sccm

2、用特氟龙阀塞金属密封

3、多种数字（EtherCAT、DeviceNet™、Profibus®、PROFINET 和 RS485）或模拟（0-5 VDC 或 4-20 mA）I/O 选择

4、标准闭合电导泄漏率小于满量程的 1.0%

5、小于 750 毫秒的建立时间

模型                          满量程流量范围     配件类型 模拟连接器 可用性 价格

GM50A013101RMM020    10 立方厘米 4 VCR 公头     15 针 D-sub        （接地） 联系我们 

1

 GM50A013101SMM020    10 立方厘米 0.25 英寸世伟洛克式     15 针 D-sub        （接地）           联系我们 

2

 GM50A013102RMM020    100 立方厘米 4 VCR 公头 15 针 D-sub       （接地） 联系我们

3

 GM50A013103RMM020    1000 立方厘米 4 VCR 公头 15 针 D-sub       （接地）                   联系我们 

4

 GM50A013103SMM020    1000 立方厘米 0.25 英寸世伟洛克式 15 针 D-sub      （接地） 联系我们 

5

 GM50A013201RMM020    20 立方厘米 4 VCR 公头 15 针 D-sub      （接地）                 联系我们 

6

 GM50A013202RMM020    200 立方厘米 4 VCR 公头 15 针 D-sub      （接地）               联系我们 

7

 GM50A013203RMM020    2000 立方厘米 4 VCR 公头 15 针 D-sub       （接地）              联系我们 

8

 GM50A013204RMM020    20,000 立方厘米 4 VCR 公头 15 针 D-sub      （接地）               联系我们

9

 GM50A013204SMM020    20,000 立方厘米 0.25 英寸世伟洛克式 15 针 D-sub      （接地） 联系我们 

10

 GM50A013501RMM020    50 立方厘米 4 VCR 公头 15 针 D-sub       （接地） 联系我们 

11

 GM50A013502RMM020    500 立方厘米 4 VCR 公头 15 针 D-sub       （接地）                  联系我们 

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 GM50A013503RMM020    5000 立方厘米 4 VCR 公头                        15 针 D-sub        （接地）                   联系我们 

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  规格

类型                        质量流量控制器 (MFC)                       入口压力系数                     <0.02% 读数/psi

控制范围                 满量程的 2-                                典型稳定时间                     <750 毫秒，典型值高于满量程的 5%

满量程流量范围      5 - 50000 sccm（当量 N2）               热身时间                             30分钟

广泛的数字和模拟接口选择

GM50A 数控 MFC 可提供模拟或数字 I/O。数字控制电子设备采用Zui新的 MKS 控制算法，在整个设备控制范围内对设定点提供快速且可重复的响应。典型的响应时间约为 500 毫秒。GM50A 的模拟和数字 I/O 可轻松用于替换 1179A MFC 的相同 I/O 类型。所有 GM50A 都包含 Modbus 作为可用的辅助 I/O（不包括 PROFINET® 和 EtherCAT®）。

标准 3 英寸占地面积

GM50A 在 5 sccm 至 50 slm 流量范围内采用 MFC Zui常使用的标准 3 英寸占地面积，无需修改现有气体管线配置即可使用。

金属密封

GM50A 金属密封 MFC 具有 10 µ 英寸电抛光 316L 表面光洁度，使该质量流量控制器可用于高纯度应用。

设定点精度百分比

包含的数字校准产生 1% 的设定点准确度，使用 N2 校准气体，用于 20% 至 的满量程流量范围。设定点精度可实现准确的过程控制与相对于满量程的精度。对于 2 至 20% 满量程的质量流量，精度为 ±0.2% 满量程。

嵌入式用户界面

嵌入式用户界面提供了轻松更改设备范围和用户气体的能力，从而降低了库存需求。您还可以监控 MFC 功能并就地收集性能数据。

专利热传感器

久经考验的专利热传感器设计可提供出色的零位稳定性。美国专利号 5461913。

我司专业从事各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业供应商。质量流量控制事业部专业从事销售服务世界有名的MFC，品牌有：美国mks流量计,美国BROOKS流量计,美国MKS真空计,德国

普发真空计,日本HORIBA流量计，Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品种规格齐全，经销真空和镀膜设备的品牌包括：INFICON（膜厚控制仪、真空计/真空规、四极质谱仪、压强控制系统、氦质谱检漏仪、冷媒检漏仪、真空阀门），COMDEL、

AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；气体压力及流量测量和控制, 射频 /直流 /微波电源发生器及测量工具, 氟离子 /臭氧反应气体发生器, 真空产品, 气体分析仪, 静电控制及信息和控制技术等产品。

对

任何品牌的MFC都可准确的清洗校准。美国mks流量计,GM50A流量控制器,GM51A流量控制器等产品外观光洁如新，性能可靠，原厂验收标准。