Zygo NewView 9000 3D 光学轮廓仪

Zygo NewView  9000 3D 光学轮廓仪提供了强大的非接触式光学表面分析的多功能性。它可以容易和快速地测量各种表面类型，包括光滑、粗糙、平坦、倾斜和阶梯式的表面。所有的测量都是无损、快速、无需样品制备的。

系统的核心是 ZYGO 相干扫描干涉技术(CSI)，提供了所有放大倍数下亚纳米的精度，并且能够快速测试各种样品表面。

主要特点:

•高灵敏度 1.9 MP 传感器

•快速非接触式测量

•3D 表面可视化

亚埃级精度

•超精密&计量能力

•增强光学成像

•自动零件定位

性能，价值和多样性

灵活性是 ZYGO NewView 产品的标志。NewView 9000 光学轮廓仪提供了多样化的应用，包括平面度，粗糙度和波纹度，薄膜，台阶高度和其他。

所有NewView 9000 轮廓仪都配备一个3 种变焦塔台，包含量身定做的分立变焦光学系统。样品台配置是完全手动到编码的完全自动化选择。

所有 NewView 9000 轮廓仪系统都提供高精度测量，易于使用和快速测量，价格吸引人， 在通用性和应用价值方面使其成为 3D 光学轮廓仪的理想选择。

以下差异化特性实现用户计量更好、更快和更可靠:

• 大面积 1.9 MP 传感器：高灵敏度，在单次测量中获取更多的信息

• 高速测量：只需几秒时间，优化的测试能力和程序控制

• 自动零件聚焦和定位：缩短用户培训时间，更快获取数据结果

• 重复性特征：优异的测量精度和可重复性，为高要求的生产应用提供

• 抗震测量： SureScan 抗震技术和内置抗震技术使得在震动环境下也可实现高质量的计量

• SmartPSI 技术：对超光滑表面进行快速分析测量

• 2D 和 3D 的相关性：测量结果符合 ISO 25178 和 ISO 4287 标准。

• Mx 软件：实现仪器控制、分析和测量自动化

分析&控制软件

NewView 9000 轮廓仪使用 ZYGO Mx 软件，支持完整系统控制和数据分析，包括丰富的交互式 3D 绘图，量化的形貌信息，直观的测量导航以及内置的 SPC 统计，质量控制图，通过/失败限制设置。

•交互式 3D 绘图-缩放，平移，旋转，并实时更新结果。

•灵活分析——广泛的定量分析结果，包括数据视图和过滤器。

•直观的用户界面，易于学习和使用的流程界面设计。

内置 SPC 分析工具，跟踪结果，监控合格和不合格的标准，跟踪处理数据。

还有满足额外特殊应用需求的应用程序模块，如有透明薄膜的样品测量，2D 图像分析等。

灵活的配置

NewView 9000 轮廓仪的工作区域功能开放，界面条理清晰，使测量设置和改变简单&快速。系统可以配备多种样品平台，从完全手动 X/Y 和倾斜俯仰到 150 毫米完全自动化调整和 4 度倾斜。仪器的抗震隔离系统和紧凑的尺寸，使它非常适合于台式安装，使用可选的工作台使其成为生产线理想的选择。