二手半导体膜厚仪 BRUKER DektakXT表面轮廓仪 /台阶仪膜厚仪

DektakXT采用具有单拱龙门式设计，配备全彩HD摄像机，并且利用64位同步数据处理模式完成测量和操作效率的台阶仪。过去四十多年间，布鲁克的台阶仪研制和生产一直在实践上不断实现***，DektakXT延续了这种***性的风格。

应用：

纳米尺度的表面轮廓测量、薄膜厚度测量、表面形貌测量、应力测量和平整度等量，应用于微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、光学、科学研究和材料科学领域

原理：

当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后，输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后，可将位移信号从调幅信号中解调出来，得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。再经噪音滤波器、波度滤波器进一步滤去调制频率与外界干扰信号以及波度等因素对粗糙度测量的影响。

根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。