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三轴导轨均采用高精度自洁式空气轴承,运动更平稳,导轨不易磨损。 各运动轴均采用直流伺服驱动,确保运动的平稳和准确。 主要特征: • 三轴导轨均采用高精度自洁式空气轴承,运动更平稳,导轨不易磨损。 • 三轴均采用高精度增量式金属光栅尺。 • Y轴采用整体燕尾式导轨,在降低机器重量的有效消除了运动扭摆,保证了测量精度和稳定
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