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EF550A-M50/ M58轮廓形状测定机
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轮廓形状测定机
● 搭载巨集解析功能为复杂解析作业提供省力方案。
● 可搬动，是设置自由度高的测定机。
● 即时输出功能、测定完成後可在触控屏上立即得到扩大形状并进行解析。
● 可扩充连接轮廓形状解析软件、可以有更高度的解析。
轮廓形状测定机
| 测定精度 | Z: 土(2.5+05 × IHI) um以下 H:变位(mm) X: 士(2.5+0.02L) um以下 L:测定长度(mm) |
|---|---|
| 分解能 | X:0.1um Z:0.25?m |
| 取样数/小间隔 | Max 64,000点/Min 0.5um |
| 测定范围 | Z:30mm X:50mm |
| 表示倍率 | 纵(Z)、横(X):1 ~2,000倍 |
| 直线度精度 | 1.0um/100mm |
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