供美国KLA 科磊探针式轮廓仪台阶仪 D-500

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KLA 科磊探针式轮廓仪台阶仪Alpha-Step D-500

产品描述

KLA 探针式轮廓仪台阶仪Alpha-Step D-500支持对台阶高度、粗糙度、弯曲度和应力进行2D测量。 创新的光学杠杆传感器技术提供高垂直分辨率、长程垂直测量范围和微力控制测量能力。

轮廓仪探针测量技术的一个优势是它是接触式直接测量，与材料特性无关。多种力度调节和探针选择可以让机台对各种结构和材料进行准确测量。这可以对您的工艺进行量化，以确定添加或移除的材料量，以及通过测量粗糙度和应力来确定结构的任何变化。

特征

台阶高度：纳米级到1200微米

微力：0.03至15毫克

视频：5MP高分辨率彩色相机

梯形失真校正：可消除侧视视图造成的失真

弧形校正：可消除探针的弧形运动引起的误差

小巧的尺寸：体积小的台式探针式轮廓仪

软件：用户友好的软件界面

应用

台阶高度：2D台阶高度

纹理：2D粗糙度和波纹度

形状：2D翘曲和形状

应力：2D薄膜应力

工业

高校、实验室和研究所

半导体和化合物半导体

LED：发光二极管

太阳能板

MEMS：微机电系统

汽车

医疗设备

更多信息：请联系我们并告诉我们您的需求

台阶高度

KLA 探针式轮廓仪台阶仪Alpha-Step D-500能够测量几纳米到1200微米高的2D台阶。这能够对蚀刻、溅射、二次离子质谱、沉积、旋涂、化学机械研磨和其他工艺中沉积或去除的材料进行量化测量。Alpha-Step系列能够提供微力测量，可以测量软材料，例如光刻胶。

纹理：粗糙度和波纹度

KLA 探针式轮廓仪台阶仪Alpha-Step D-500可测量2D纹理、量化样品的粗糙度和波纹度。软件中的过滤器将测量结果分为粗糙度和波纹度两部分，并计算出均方根、粗糙度等参数。

形状：翘曲和形貌

Alpha-Step D-500可以测量表面的2D形貌或翘曲度。这包括元件制造过程中不同工艺层材料不匹配导致的晶圆表面翘曲的测量，例如半导体或化合物半导体器件生产中的多层沉积。D-500还可以测量弯曲结构（例如透镜）的高度和曲率半径。

应力：2D薄膜应力

Alpha-Step D-500能够测量在生产具有多个工艺层的器件（例如半导体或化合物半导体器件）期间产生的应力。使用应力载台将样品支撑在中间位置以jingque测量样品的翘曲度。应力是先测量诸如薄膜沉积等工艺导致的晶圆表面形貌变化，运用Stoney公式计算得到的。