ULVAC 爱发科 GLD-N280 大抽速双级油旋片真空泵真空炉前级泵

更新时间：2026-08-18

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ULVAC 爱发科 GLD-N 系列为成熟双级油旋片真空泵，依靠两级压缩结构实现高极限真空，是真空行业通用前级抽气设备，广泛配套氦质谱检漏仪、Qulee 系列 RGA 残余气体分析仪、分子泵机组、真空镀膜设备、实验室真空装置。全系三款型号按照抽速分级，适配不同腔体容积与生产负荷。

GLD-N051

小型紧凑型机型，抽速 60/70L/min，整机体积小巧、占地空间小。适合小型台式设备、高校实验室间歇工况、小型腔体脱泡、分析仪器配套，常作为小型检漏仪、台式 RGA 前级泵，多用于间歇性运行场景。

GLD-N202

行业通用主力型号，抽速 240/290L/min，散热均衡，支持长时间持续运转。适配中小型真空腔体、溅射镀膜、真空干燥、气密性检测设备，是氦检产线、中型真空炉、研发量产设备选用主流型号。

GLD-N280

大流量工业机型，抽速 336/400L/min，加大散热结构与油箱容量，支持 24 小时不间断满载运行，气镇处理水汽能力更强。适合大型真空腔体、连续式镀膜产线、多工位集中抽气系统、大型分子泵机组前级抽气。

全系标配可调气镇阀，处理含水蒸气、低沸点溶剂工况，避免水汽凝结污染真空油；内置停电自动防返油阀，防止停机时真空油返流污染腔体；大面积可视油位窗，方便日常点检油量与油品污染状态。整机精密加工，运行震动低、噪音可控，宽电压电机适配国内外供电标准，满足自动化设备集成需求。

GLD 系列常作为 HELIOT 氦检仪、Qulee 系列 RGA 残余气体分析仪标准前级真空泵，搭配组成整套真空检测系统。对比干式真空泵，油旋片泵极限真空更高、采购成本更低、耐轻微水汽，适合无超高洁净要求的真空抽气场景。