氧气氮气氢气空气管道式气体质量流量计

MEMF管道式气体质量流量计欢迎选用本公司产品。请在使用前详细阅读本说明手册，了解产品的正确安装和使用方法。本公司以服务为宗旨，在产品的使用阶段遇到有任何问题，请及时与本公司联系。

备注：使用前，严格吹扫管道，焊接法兰要打磨安装合适的过滤器，流量范围与产品标准符合，管 道内部不能有水分和颗粒。顺祝商祺！

产品概述

本产品采用MEMS质量流量传感器技术，能根据用户的需求提供在线流量计量。传感器系采用CMOS兼容MEMS工艺制造。传感器可测量低至0.01m/sec及65m/sec。针对不同的应用，传感器可用于测量气体的质量流量、体积流量及 介质流速。专门设计的电路具有放大及微小信号处理功能以输出。

不同于其它MEMS传感技术，单个传感芯片上集成多个传感器。芯片表面采用具有高导热性能的陶瓷材料钝化处理，在传感器的灵敏度的避免传感器与气体介质直接接触以提高。当没有气体介质流过MEMS传感器芯片时，传感器周围保持稳定的温度场（温度分布）。当被检测气体介质流过传感器芯片时，温度场因为流体介质带走热量导致局部温度重分布。这种局部温度场变化取决于流体介质的质量及流速。集成在芯片上的传感器对此温度分布进行测量，通过校准，专门设计的信号处理电路和智能控制软件测量实际的介质质量流速。介质质量流速则可换算成体积流速及累计介质体积流量。

1.1 型号规格

型号和技术规格可从流量计铭牌、出厂校验单上查到，检查该仪表是否与所定型号、技术规格一致。

MEMF气体质量流量计

规格型号：    精度等级：   介质温度：

环境温度：    测量温度：   出厂编号：

工作压力：    工作电压：   出厂日期：

防护等级：       防爆标志：

关联设备见使用说明书    

MEMF20□ □ □ □ □

□气体介质（A-空气，N-氮气，O-氧气，R-氩气，）

□输出（B-RS485，N-4-20mA）

□流量（m3/h；例；80-15000 m3/h）

□连接（1-法兰）

□通径（管道内径，单位为mm可选25）

MEMF微纳气体质量流量计是基于热扩散原理的气体流量测量仪表，它无须温压补偿，直接测出流体的质量流量。它的特点是：可以直接进行贸易结算；没有活动部件；压力损失小；量程比宽；精度高；安装简单；操作方便。

金氏定律即热扩散原理。金氏定律：流过热源的流体分子多少与热量散失的多少成正比。二是恒温差法。可用表达式来具体说明：

P/ △ T=A+B（Q）m

其中P表示消耗功率；△T表示两个传感器之间的温度差；

Q表示质量流量；m表示指数系数，