奥林巴斯金相显微镜 MX61/MX61L 半导体检测显微镜

日本奥林巴斯金相显微镜 

MX61L/ MX61, 300 mm/200 mm半导体检查显微镜通过各种观察方法--明视场法、暗视场法、微分干涉法（DIC）、荧光法、红外线法和深紫外线法，保证了卓越的图像分辨率和鲜明度。

考虑了检查效率的设计

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主要操作集中配置在前面板上

前面板 
[1] 照明强度旋钮 
[2] 物镜倍率切换 
[3] 孔径光阑调节 

在对比度的决定上起重要作用的孔径光阑（AS）的开闭调节，与物镜的切换和观察模式连动，用一个按钮就可以操作。此外，用一个手指就可以调光的旋钮也配置在前面板上，从而提高了检查速度。物镜和孔径光阑（AS）的按钮分别斜向配置，手不离开对焦手柄，只要轻动大拇指就可以操作。这个按钮的倾斜式设计提高了手指尖的感知度，能够防止错误操作。

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观察姿势迅速到位的倾斜镜筒

倾斜镜筒示意图

为了适应视点而调整座椅的高度，或是以不合理的姿势进行检查的话会浪费时间，降低工作速度。但是，配备倾斜角度为0°～42°（可变高度为150 mm，SEMIS8对应）的倾斜镜筒，可采取与检查者体格无关的舒适观察姿势，甚至可以站立检查。此外，这一款镜筒拉长了从观察中心轴到观察者视点的距离，可以在较大的平台上轻松操作。

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高灵敏度载物台可以迅速决定位置

内置离合器的载物台手柄

对应300 mm晶圆／17英寸面板的MX-SIC1412R2载物台有较大的透射照明范围（Y方向284mm）。另外，内置离合器的载物台手柄，可切换粗调和微调。在显微镜观察的同时能自由地移动载物台，快速完成检查。

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鲜明图像和卓越的分辨率为特点的光学系

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多种选择可实现卓越的成像性能

物镜是涉及到样品的照明和观察的重要部件，奥林巴斯有应对多种多样的观察方法、长工作距离、红外光及LCD检查用的齐全的物镜产品阵容可供选择。

观察影像实例

明视场观察

暗视场观察

微分干涉观察

荧光观察

丰富的产品阵容，可按需选择
MPLAPON	平场复消色差透镜
MPLFLN	平场半复消色差透镜
MPLFLN-BD	明暗视场用平场半复消色差透镜
MPLFLN-BDP	反射偏振光用平场半复消色差透镜
LMPLFLN	长工作距离平场半复消色差透镜
LMPLFLN-BD	明暗视场用长工作距离平场半复消色差透镜
MPLN	平场消色差透镜
MPLN-BD	明暗视场用平场消色差透镜
SLMPLN	超长工作距离平场消色差透镜
LCPLFLN-LCD	液晶长工作距离平场半复消色差透镜

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软件方案实现数字成像

MX61L配备了PC界面，可以读取显微镜的电动功能。因此，捕获影像时可以自动保存物镜倍率，为日后处理和分析影像提供可靠的影像信息。

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使用数码照相机记录和保存数码影像

三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像，帮助创建观察报告。可依据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。

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支持缺陷检测的多种功能

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快速切换物镜，提高检查速度

电动物镜转换器示意图

电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换，可以操作按钮瞬时间完成，提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外，UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机，在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。