淄博双壳水冷密封1700度可通惰性气体真空气氛炉

1700℃ 双壳水冷密封 真空气氛箱式炉（惰性气体保护）

采用双层水冷炉体 + 高温密封结构，搭配硅钼棒加热、氧化铝纤维炉膛，适配 1700℃超高温、真空 / 惰性气氛工况，主打高气密性、低外壁温度、温场稳定，适用于特种陶瓷、难熔金属、粉末冶金、功能材料高温烧结、退火、固相合成，支持腔体尺寸、气路、工艺非标定制。

一、核心技术参数

1. 温度控制系统

• 极限温度：1700℃（短时使用≤30min），长期连续工作温度：≤1600℃

• 测温元件：B 型双铂铑热电偶，耐温高、抗气氛腐蚀、测温线性好

• 控温精度：±1℃，炉膛有效温场均匀性：±2℃

• 升温速率：0.1~6℃/min 无级可调；1200℃以上建议≤3℃/min，减小热冲击

• 控制方式：50 段 PID 可编程控温，7/10 寸工业触摸屏；支持参数自整定、工艺存储调用

• 数据功能：实时温度曲线、历史记录，1/5/10/30s 采样可选，USB 导出数据 / 曲线，可选 RS485 上位机通讯

2. 加热与炉膛系统

• 加热元件：1700 级硅钼棒，高温不软化、抗氧化，适配真空 / 氩气 / 氮气等惰性环境；可控硅无触点调功，温控波动极小

• 炉膛材质：1750 级高纯氧化铝复合陶瓷纤维模块，梯度保温、抗热震、不掉粉、无样品污染，蓄热低、升降温快

• 标准内腔尺寸 (深 × 宽 × 高 mm)：250×200×150、350×250×200、500×300×250，全尺寸、内部结构可定制

3. 炉体结构（双壳水冷 + 密封，核心亮点）

• 结构：内外双层壳体，夹层循环水冷，强制降温

• 外壁温度：常态≤45℃，高温长期运行不烫手、壳体不变形

• 炉门：重型锁紧式密封门，水冷法兰 + 多层复合耐高温密封垫，高低温工况均保气密

• 整体气密性：整机漏率≤1Pa・L/s，高温下无漏气、无热变形

4. 真空 & 惰性气体系统

• 真空机组：标配双级旋片泵，极限真空 ≤5Pa；可选分子泵机组，真空度可达 10⁻³Pa 级

• 工作压力范围：-0.1MPa ~ +0.03MPa，支持高真空、微负压、微正压运行

• 气路配置：标配单路惰性气体（N₂/Ar），可拓展多路混合气路；搭载MFC 质量流量控制器 / 精密流量计 + 稳压阀 + 单向阀，流量 0~10L/min 连续可调

• 置换工艺：抽真空→充惰性气体复压，循环 2~3 次，炉内氧含量可控制在 5ppm 以内

• 安全配件：数显真空计、压力传感器、防爆泄压阀、气体防倒流装置、管路过滤器

5. 安全防护

开门断电联锁、超温报警 & 自动停机、断偶保护、漏电 / 过载保护、水压异常报警、气压超限保护、故障代码记录，多重防护适配高温气氛工况。

二、可定制范围

1. 腔体：长宽高、分层搁架、观察窗、备用测温口、侧开 / 顶开炉门样式

2. 气路：多路气氛、气体混配、自动充放气联动系统

3. 真空：升级高真空机组、加装真空电磁阀、全自动真空置换模块

4. 拓展：外接水冷机组、外置冷却工位、中英文操作界面、预装专属工艺曲线

三、标准操作流程

1. 装样后锁紧炉门，检查水冷管路、真空 / 气管路，开启水循环

2. 启动真空泵抽至设定真空度，关闭真空阀

3. 通入高纯惰性气体至常压，完成一次置换；重复 2~3 次彻底排净空气

4. 保持微正压连续通气，启动温控程序开始升温烧结

5. 工艺结束，按程序阶梯降温

6. 炉温降至200℃以下，依次关闭气源、真空系统、水循环，再开门取料

四、1700℃通用烧结工艺曲线（可直接录入）

1. 室温 → 700℃，升温速率 4℃/min

2. 700℃ 保温 25min（脱除水汽、残留气体）

3. 700℃ → 1600℃，升温速率 2.5℃/min

4. 1600℃ → 1700℃，升温速率 2℃/min（极限温区低速升温）

5. 1700℃ 恒温（按需设置时长）

6. 1700℃ → 900℃，降温速率 2.5℃/min

7. 900℃以下随炉自然冷却

五、核心优势

1. 水冷壳体耐用：双层水冷结构隔绝高温，壳体变形，密封件使用寿命大幅延长。

2. 气密性能优异：水冷密封法兰 + 专用高温密封件，1700℃高温下依旧保压不漏气。

3. 超高温稳定：硅钼棒 + 氧化铝纤维炉膛组合，适配真空、惰性气氛双重严苛环境。

4. 控温精准可追溯：智能程序控温 + 数据曲线记录，工艺一致性强，满足科研、质检要求。

5. 安全系数高：水冷、气压、温度、电气多维度保护，适配实验室及中试场景。

六、使用与维护要点

1. 设备运行全程必须开启水冷，严禁断水作业；定期检查水流、水压，避免壳体过热。

2. 炉温＞800℃禁止开门，防止热震损坏炉膛、加热元件，避免空气倒灌氧化样品。

3. 建议使用99.999% 高纯氩气 / 氮气，减少杂质影响，保护加热元件与样品。

4. 定期检查炉门密封垫、管路接头，老化件及时更换；真空泵按周期加注专用润滑油，防止返油。

5. 纤维炉膛仅可干刷清灰，严禁沾水；禁止强腐蚀、易剧烈挥发物料直接入炉。

6. 1700℃极限温度尽量短时使用，日常生产优先控制在 1600℃以内，延长设备寿命。

核心结构与关键参数

• 双壳水冷与密封系统：炉体采用内外双层壳体结构，夹层内置循环水冷系统。配合水冷法兰与双层氟橡胶密封圈，不仅能有效降低炉体热变形、延长密封件使用寿命，还能确保在1700℃高温下长期保压不漏气，且外壳表面温度可控制在50℃-60℃以下。

• 极限温度与加热元件：设备高温度可达1700℃，长期工作温度建议控制在1650℃。标配1800型U型硅钼棒（MoSi₂）作为加热元件，采用四面或六面环绕排布，在惰性气氛下寿命可达3000-5000小时。

• 高真空与惰性气体保护：搭载双级旋片真空泵（极限真空≤3×10⁻²Pa），可选配罗茨机组达到高真空（≤1×10⁻³Pa）。支持通入高纯氮气、氩气等惰性气体，通过“预抽真空-循环置换-微正压连续通气”模式，可将炉内残氧控制在3-5ppm，满足超低氧烧结需求。

• 智能程序控温：配备高精度PID温控仪表与触摸屏，支持30段以上可编程曲线，可实现排胶、阶梯升温、长时间保温及可控降温的全流程自动化，控温精度高达±1℃。

主要应用领域

• 先进陶瓷与透明陶瓷：适用于碳化硅（SiC）、氮化硅（Si₃N₄）、氮化铝（AlN）等超高温陶瓷，以及氧化铝、钇铝石榴石（YAG）等透明陶瓷的无氧致密化烧结。

• 粉末冶金与特种粉体：用于金属粉体、硬质合金、稀土氧化物、纳米陶瓷粉末的高温煅烧、晶化与除气处理。

• 新能源与电子材料：广泛应用于锂电池正负极材料、磁性材料、高频陶瓷及封装材料的高纯气氛热处理。

关键操作与维护规范

1. 标准气氛置换流程：装料锁紧后，先开启循环冷却水；启动真空泵预抽真空并保压检漏；随后通入高纯氮气，反复进行2-4次“抽真空-充气”置换，彻底排净腔内空气后再调节微正压启动加热。

2. 严格升降温控制：建议升温速率控制在10-20℃/min以内。工艺结束后严禁直接开炉，必须随炉缓冷至200℃以下方可缓慢破真空并开门取样，防止样品氧化或炉膛炸裂。

3. 全维度安全防护：设备标配多重联锁保护，包括水冷断水/水温过高报警、超温断电、热电偶断偶保护、炉门联锁（＞200℃锁门）以及超压自动泄压阀。若需通入氢气等可燃气体，必须单独定制防爆系统与尾气燃烧装置。