大连氧化铝陶瓷纤维炉膛高温1700度氮气保护箱式气氛炉

一、温度系统参数

• 极限温度：1700℃（短时≤2h），长期连续安全使用：1600～1650℃（氮气气氛优工况）

• 控温：7 寸触摸屏50 段 PID 程序控温，分段升温 / 保温 / 降温自动运行，存储 99 套烧结配方，USB 导出温曲线；恒温控温精度 ±1℃，有效温场均匀≤±4℃

• 升温速率：0.1～12℃/min 可调，1500℃以上限速≤3℃/min，保护炉膛与硅钼棒

• 测温：B 型铂铑 30 - 铂铑 6 热电偶（0～1800℃），炉腔中部定点测温，带断偶、超温、过流、漏电四重联锁停机保护

二、炉膛（核心：1800 级高纯氧化铝陶瓷纤维）

1. 材质：多晶氧化铝纤维一体真空成型，Al₂O₃≥99.2%，分类耐温 1800℃；内壁喷涂高温氧化铝致密固化涂层，无无机粘结剂、高温不掉粉、无杂质析出，杜绝样品污染

2. 保温结构：高纯氧化铝纤维 + 氧化铝空心球 + 纳米反射隔热三层复合炉衬，总保温厚度 200mm，低热导率、蓄热小、升温快，较耐火砖炉节能 45%+

3. 炉体：双层钢板壳体 + 夹层强制风冷，炉门法兰水冷，整机外壳表面温升≤50℃，安全防烫

三、加热系统（1800 型 U 型硅钼棒）

• 排布：炉膛六面环绕布置硅钼棒（上下 + 左右 + 后壁），全域辐射发热，温场均匀；氮气惰性环境下硅钼棒使用寿命≥3200h

• 供电：全固态 SSR 可控硅调压，无触点稳压，抑制冲温超调；小腔体 220V、大容积 380V 三相供电

四、真空 + 氮气气氛系统（预抽真空除氧→氮气微正压烧结）

1. 真空配置

• 标配：双级旋片机械泵，极限真空≤5×10⁻²Pa；三次抽真空 - 充氮置换，炉腔残氧＜8ppm，杜绝高温氧化

• 升级选配：机械泵 + 涡轮分子泵机组，极限 5×10⁻³Pa，适配超高纯粉体、靶材素坯烧结

• 密封：水冷不锈钢炉门法兰 + 复合高温氟橡胶密封，承压密闭不漏气，顶部内置防爆泄压阀、真空压力表

2. 氮气供气系统

• 适用气体：高纯 N₂（≥99.999%），可兼容 Ar 氩气切换使用；严禁裸空高温通氢气，加氢需整机防爆定制

• 气控：标配双路玻璃浮子流量计；高配MFC 质量流量控制器（精度 ±0.5% FS），程序联动自动补气稳压

• 工艺模式：真空脱脂排胶→密闭微正压 50～200Pa 动态通氮烧结，负压止回防空气倒灌

五、常规标准内腔尺寸 & 装机功率

表格

非标定制：加大炉膛、顶部开孔、内置刚玉托架、侧开取样口、多路混气接口

六、通用氮气烧结工艺参考（氧化铝基陶瓷）