氮碳化钛涂层硬度老是卡在2000HV上下，碳氮比例怎么调比较合适

多弧镀TiCN硬度卡在2000HV，八成是碳钛比偏低了，镀出来的偏钛多。我们厂那台设备做这个，乙炔流量一般控制在40-50 sccm左右，氮气流量80 sccm，弧流控制在60A。你先查一下现在的乙炔是不是给得太小了，低于30 sccm的话涂层基本就是灰白色的，碳很难进去晶格。另外偏压别拉太高，150V到200V足够了，偏压高了离子轰击太猛，反而会把碳原子打出来导致硬度掉。还有工件温度最好稳在450度，温度不够涂层疏松硬度绝对上不去。

别光盯着乙炔流量看，多弧镀的靶材纯度才是关键。你用的钛靶是不是99.6%以上的？如果是低纯度靶材里面杂质多，镀出来的TiCN不管怎么调气体，硬度都上不去，而且里面容易有液滴导致结合力虚高。测划痕过80N不一定代表膜基结合真好，有可能是表面有液滴卡住了金刚石压头。你拿个SEM打一下截面看看涂层里面有没有大颗粒。

你冲压模具的基材是什么牌号？打底的纯Ti过渡层厚度留了多少微米？基材硬度如果太低，加上过渡层太薄，表层TiCN哪怕做到2500HV也没用，测试的时候基体先变形了，表现出来就是整体耐磨性差。